特許

J-GLOBAL ID：201103024972805106

洗浄装置

発明者： 水沢 康行
出願人/特許権者： 株式会社北村製作所
代理人 (1件)： 牛木 護
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-180454
公開番号（公開出願番号）：特開2002-370071
特許番号：特許第3635659号
出願日： 2001年06月14日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 水平方向に回転するターンテーブルを設け、このターンテーブルの同一円周上に位置して被洗浄物が収納可能な複数の筒型の処理槽を設け、この処理槽の少なくとも1個の処理槽を除く前記各処理槽を介して上下一対の蓋体を対向配置し、その上下の蓋体の少なくとも何れか一方を昇降させて前記処理槽を密閉する昇降手段と、前記蓋体に連通して前記被洗浄物の洗浄・乾燥処理する洗浄・乾燥ユニットとを備えた洗浄装置であって、前記ターンテーブルを間歇的に回転させて被洗浄物を組み込みこんだ処理槽を洗浄・乾燥位置へと順次回転移送するように構成すると共に、前記各処理槽は前記ターンテーブルにバネを介して上下動自在に組み込まれ、前記上下各蓋体は各処理槽と僅かな隙間を保って保持され、前記ターンテーブルの停止時に、前記昇降手段により前記上部又は下部蓋体を昇降させて前記ターンテーブルに組み付けた各処理槽に押し付け、更に、前記バネで支持された各処理槽を同体的に昇降させて前記各処理槽を洗浄装置本体の枠状フレームの底部に立設された支柱に固定されている固定板に固定した前記上部又は下部蓋部に押し付けることを特徴とする洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/02 ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 3/02 A ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/304 643 Z ,  H01L 21/304 651 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-058233   出願人：東京電線工業株式会社
• 特開平1-242183