物理量検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：布施行夫 , 大渕美千栄 , 永田美佐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-186217
公開番号（公開出願番号）：特開2011-038889
出願日： 2009年08月11日
公開日（公表日）： 2011年02月24日
要約：

【課題】信頼性の高い物理量検出装置を提供すること。【解決手段】本発明にかかる物理量検出装置は、パッケージ10と、表裏関係にある第1主面21および第2主面22を有し、パッケージ10に撓み可能に固定され、該第2主面22がパッケージ10の内面に対向している反応基板20と、反応基板20の少なくとも第1主面21側に載置され、反応基板20に発生した応力に応じて信号を発生する物理量検出素子30と、反応基板20が撓んだときに反応基板20およびパッケージ10の間の距離が最小となる反応基板20の部位に形成された緩衝体40と、を含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

パッケージと、表裏関係にある第1主面および第2主面を有し、前記パッケージに撓み可能に固定され、該第2主面が前記パッケージの内面に対向している反応基板と、前記反応基板の少なくとも前記第1主面側に載置され、前記反応基板に発生した応力に応じて信号を発生する物理量検出素子と、前記反応基板が撓んだときに該反応基板および前記パッケージの間の距離が最小となる該反応基板の部位に形成された緩衝体と、を含む、物理量検出装置。

IPC (2件)：

G01P 15/10 , G01P 15/12

FI (2件)：

G01P15/10 , G01P15/12 D

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