特許
J-GLOBAL ID：201103025418181393

基板処理装置の制御方法及び記憶媒体

発明者：
望月 宏朗

望月 宏朗 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 別役 重尚 ,  村松 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-149696
公開番号（公開出願番号）：特開2011-009342
出願日： 2009年06月24日
公開日（公表日）： 2011年01月13日
要約：
【課題】所定の処理室において、先に実行された処理作業単位によって作られた雰囲気を後に実行する処理作業単位において柔軟に利用することができる基板処理装置の制御方法を提供する。【解決手段】PM12〜17を備える基板処理装置10の制御方法では、各ウエハに施される同一内容の処理からなる処理群に相当する作業単位であるプロセスジョブ(PJ)と、複数のPJからなる作業単位群であるコントロールジョブ(CJ)とが用いられ、先に実行されたPJが属するCJが、或るPMにおいて実行可能なPJを有さないときに、他のCJに属する当該PMにおいて実行可能なPJの実行が許可される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の処理室を備える基板処理装置において、少なくとも1つの基板に施される同一内容の処理からなる処理群に相当する処理作業単位と、複数の前記処理作業単位からなる処理作業単位群とを用いる基板処理装置の制御方法であって、 先に実行された前記処理作業単位が属する前記処理作業単位群が、所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位を有さないときに、他の前記処理作業単位群に属する前記所定の処理室において実行可能な前記処理作業単位の実行を許可する処理作業単位実行許可ステップを有することを特徴とする基板処理装置の制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/02 ,  H01L 21/306
FI (2件)：
H01L21/02 Z ,  H01L21/302 101G
Fターム (3件)：
5F004AA16 ,  5F004BC06 ,  5F004CA08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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