特許
J-GLOBAL ID:201103025424280344

複合蒸着材およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-075661
公開番号(公開出願番号):特開2000-336471
特許番号:特許第3523559号
出願日: 2000年03月17日
公開日(公表日): 2000年12月05日
請求項(抜粋):
【請求項1】 アルミニウム基体と前記アルミニウム基体の軸領域に分散された金属粒子を備え、前記アルミニウム基体が高蒸気圧の金属であり、前記金属粒子が低蒸気圧の金属である複合構造を有し、一回の蒸着作業で蒸着膜の蒸着初期の組成は高蒸気圧のアルミニウムがリッチであり、蒸着終期の組成は低蒸気圧の金属がリッチとなる蒸着膜を得るための複合蒸着材。
IPC (1件):
C23C 14/24
FI (1件):
C23C 14/24 E
引用特許:
審査官引用 (2件)

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