光学的測定装置及び光学的測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邊薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-011349
公開番号（公開出願番号）：特開2011-149822
出願日： 2010年01月21日
公開日（公表日）： 2011年08月04日
要約：

【課題】測定対象が微小粒子であっても良好な位置信号調整信号を得ることができ、測定対象の試料(微小粒子)の位置を精度良く検出し、試料から発せられる蛍光や散乱光などを効率よく測定ことが可能な光学的測定装置及び光学的測定方法を提供する。【解決手段】試料2に励起光5を照射する光照射部3と、励起光5が照射された試料2から発せられた蛍光6及び散乱光7を検出する検出部4とを備える光学的測定装置1に、試料から発せられた散乱光7をS偏光7sとP偏光7pとに分光する偏光ビームスプリッター43、分光されたP偏光7pを測定する散乱光強度検出器46、及びS偏光7sを測定する試料位置検出器49を設ける。そして、散乱光強度検出器46では散乱光7の強度を検出し、試料位置検出器49ではS偏光7sの結像位置(受光位置)から、試料2の位置を検出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に光を照射する光照射部と、光が照射された試料から発せられた散乱光を検出する散乱光検出部と、を有し、前記散乱光検出部は、少なくとも、試料から発せられた散乱光をS偏光成分とP偏光成分とに分光する偏光ビームスプリッターと、前記P偏光成分を受光して散乱光の強度を検出する第1検出器と、前記S偏光成分を受光してその受光位置の変化から試料位置を検出する第2検出器と、を備える光学的測定装置。

IPC (5件)：

G01N 21/49 , G01N 21/01 , G01N 21/21 , G01N 21/64 , G01N 15/14

FI (5件)：

G01N21/49 A , G01N21/01 B , G01N21/21 Z , G01N21/64 Z , G01N15/14 D

Fターム (39件)：

2G043AA04 , 2G043BA16 , 2G043BA17 , 2G043CA04 , 2G043DA05 , 2G043EA01 , 2G043EA14 , 2G043HA01 , 2G043HA03 , 2G043HA07 , 2G043HA09 , 2G043JA02 , 2G043JA04 , 2G043KA09 , 2G043LA03 , 2G043NA01 , 2G059BB09 , 2G059BB13 , 2G059DD12 , 2G059DD13 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059EE07 , 2G059GG01 , 2G059GG02 , 2G059JJ03 , 2G059JJ05 , 2G059JJ07 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059JJ25 , 2G059KK02 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G059LL01 , 2G059LL04 , 2G059MM01 , 2G059MM09

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