特許

J-GLOBAL ID：201103025472849049

アンチモン拡散用組成物

発明者： 内田 寛人 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 広瀬 章一 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-255275
公開番号（公開出願番号）：特開平3-122098
特許番号：特許第2712637号
出願日： 1989年10月02日
公開日（公表日）： 1991年05月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルコキシシランの部分加水分解物と、シロキシアンチモン化合物とを溶解してなるアンチモン拡散用組成物。

IPC (3件)：

C30B 31/04 ,  C30B 29/06 ,  H01L 21/225

FI (3件)：

C30B 31/04 ,  C30B 29/06 B ,  H01L 21/225 R