特許
J-GLOBAL ID：201103025529535020
回転ムラ測定装置の精度測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-320471
公開番号（公開出願番号）：特開平3-181863
出願日： 1989年12月12日
公開日（公表日）： 1991年08月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】回転しているポリゴンミラにレーザ光源によりレーザビームを照射し、走査された反射ビームをポリゴンミラに対して所定の見込角を持って配置された2つのトリガ発生器で受けることにより各々トリガ信号を発生させ、前記トリガ信号をデジタル信号に変換して時間差測定手段に入力し、2つのトリガ信号間の平均走査時間及び変動量から、ポリゴンスキャナの回転精度を測定する回転ムラ測定装置において、回転しているポリゴンミラ(1)にレーザ光源(2)から出射されたレーザビーム(L1)を入射し、その反射されたレーザビーム(L2)がハーフミラ(5)を通過し、その通過したレーザビーム(La)がトリガ発生器(4)へ入射してトリガ信号を発生させ、同時にハーフミラ(5)で反射したレーザビーム(Lb)がもう一つのトリガ発生器(3)へ入射してトリガ信号を発生させるように、ハーフミラ(5)、トリガ発生器(4),(3)を近接させて配置し、前記トリガ発生器(4),(3)のトリガ信号を各々デジタル信号に変換して時間差測定手段に入力し、2つのトリガ信号間の時間差及び変動量を測定することを特徴とする回転ムラ測定装置の精度測定方法。
IPC (2件)：
G01P 3/44 A
, G02B 26/10 102
