特許
J-GLOBAL ID:201103025553770277

コーティング方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 隆司
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平1-011680
公開番号(公開出願番号):特開平2-194172
特許番号:特許第2794744号
出願日: 1989年01月20日
公開日(公表日): 1990年07月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】被処理物と所定間隔離間して4個のターゲットを該被処理物の上下左右に配設すると共に、この4個のターゲットの背後にそれぞれ磁石を互に対向するターゲットの磁石の同一極が対向し、かつ互に隣り合うターゲットの磁石の同一極が隣接するように配置して、各ターゲット表面近傍に形成される磁力線相互を反発させた状態で上記4個のターゲットから飛び出した原子をそれぞれ被処理物に付着させると共に、被処理物に未付着の原子を上下左右のいずれかのターゲットに再付着させることを特徴とするコーティング方法。
IPC (1件):
C23C 14/35
FI (1件):
C23C 14/35 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭63-303065
  • 特開昭63-171879

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