特許

J-GLOBAL ID：201103025629630917

監視回路付基板保持装置

発明者： 石田 修也
出願人/特許権者： 日新イオン機器株式会社
代理人 (1件)： 山本 恵二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-027423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-228440
特許番号：特許第4193264号
出願日： 1999年02月04日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板を保持するものであって保持した基板の表裏方向へ移動させられる基板保持装置と、この基板保持装置に保持された基板と当該基板保持装置との間の静電容量を測定する静電容量測定器と、前記基板保持装置が基板の表面方向へ移動しているときの減速時または基板の裏面方向へ移動を開始するときの加速時に、前記静電容量測定器で測定した静電容量を所定の基準値と比較して、前者が後者よりも小さいときに保持力不足を表す信号を出力する比較回路とを備えることを特徴とする監視回路付基板保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  H01J 37/317 ( 200 6.01) ,  H01L 21/265 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  H01J 37/317 B ,  H01L 21/265 603 D