変位センサ、駆動装置、露光装置、及びデバイスの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-031672
公開番号（公開出願番号）：特開2011-171386
出願日： 2010年02月16日
公開日（公表日）： 2011年09月01日
要約：

【課題】対象物の変位量を簡易な構成で計測することができる変位センサ、駆動装置、露光装置、及びデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】凹面鏡41の変位量を計測可能に構成され、圧電部材53に対する電圧の印加に伴って、圧電部材53から駆動力が伝達されて凹面鏡41に対して接触する接触位置まで変位する接触部材58と、接触部材58の変位量を計測する受光素子62と、受光素子62の計測結果に基づき、接触部材58が接触位置まで変位したか否かを判別すると共に、接触部材58が接触位置まで変位した旨を判別した時点での接触部材58の位置を、凹面鏡41の変位量を計測する際の基準となるスケール60の原点として設定する制御装置64とを備えた。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

対象物の変位量を計測可能な変位センサであって、前記対象物に接触可能な接触部を有し、駆動源からの駆動力によって前記対象物に対して変位する変位部材と、前記変位部材の変位量を計測する変位計測部と、前記接触部が前記対象物に接触したか否かを判別する判別部と、前記判別部によって前記接触部が前記対象物に接触したことを判別した時、前記変位計測部に対して、前記対象物の変位量を計測する際の原点を設定する原点設定部とを備えることを特徴とする変位センサ。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , G02B 7/198 , G02B 5/10

FI (4件)：

H01L21/30 515D , G03F7/20 521 , G02B7/18 B , G02B5/10 B

Fターム (15件)：

2H042DD13 , 2H043BB05 , 2H043BC01 , 5F046BA03 , 5F046CB02 , 5F046CB03 , 5F046CB25 , 5F046DA12 , 5F046DB04 , 5F146BA03 , 5F146CB02 , 5F146CB03 , 5F146CB45 , 5F146DA12 , 5F146DB04

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