電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-263200
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084936
特許番号：特許第3757702号
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子銃,照射レンズ,結像系レンズ、及び前記電子銃から放出された電子ビームの光軸を調整する光軸調整用、及び/又は前記電子ビームの非点を補正する非点補正用の偏向器を備えた電子顕微鏡において、前記偏向器は、偏向磁場を形成するための直流電流が供給される偏向コイルが巻かれた環状鉄心が備えられ、当該環状鉄心には、閉巻き線式ショートコイルを巻かれると共に、当該ショートコイルは、前記直流電流に含まれる交流成分をキャンセルすることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3件)：