特許

J-GLOBAL ID：201103026316592000

プローブ及び測定対象を光学的に検査する装置

発明者： トビアス グナウシュ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  杉本 博司 ,  高橋 佳大 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-537370
公開番号（公開出願番号）：特表2011-506944
出願日： 2008年11月28日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：

本発明は測定対象を光学的に検査する光学的プローブ(1)に関する。このプローブは、固定プローブ部材と、該固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸(3)を中心として回転可能なプローブ部材(5)とを有しており、回転可能プローブ部材(5)は測定光線を出力させる少なくとも2つの光出力側(10a;10b;10c)を有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離d(15)を以て前記光出力側から前記回転軸(3)に対して垂直に出射する。本発明はまた、前記光学的プローブ(1)と接続された干渉計を含んだ、測定対象を干渉法により測定するための装置にも関する。

請求項（抜粋）：

測定対象を光学的に検査する光学的プローブ(1)であって、固定プローブ部材と、該固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸(3)を中心として回転可能なプローブ部材(5)とを有する形式の光学的プローブ(1)において、前記回転可能プローブ部材(5)は測定光線を出力させる少なくとも2つの光出力側(10a;10b;10c)を有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離d(15)を以て前記光出力側から前記回転軸(3)に対して垂直に出射することを特徴とする光学的プローブ(1)。

IPC (2件)：

G01B 11/12 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B11/12 G ,  G01B9/02

Fターム (17件)：

2F064AA01 ,  2F064EE00 ,  2F064GG02 ,  2F064GG13 ,  2F064KK01 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA53 ,  2F065BB08 ,  2F065CC10 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065FF51 ,  2F065LL01 ,  2F065LL02 ,  2F065LL31 ,  2F065LL46

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光走査プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-233001   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-068276   出願人：オリンパス株式会社