特許
J-GLOBAL ID:201103026410282120

三次元形状測定装置および三次元形状測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 的場 基憲
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-349135
公開番号(公開出願番号):特開2003-148929
特許番号:特許第3898032号
出願日: 2001年11月14日
公開日(公表日): 2003年05月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】平坦部および立壁部を有する被測定物にレーザ光を照射するレーザ光源と、被測定物により反射される反射光を受光する複数の受光素子と、これらの受光素子の各出力信号により得られる位置情報に基づいて被測定物の三次元形状を演算する三次元形状演算手段を備え、受光素子をレーザ光源の両側に配置し、レーザ光源の一方側に位置して被測定物の平坦部からの第一次反射光を多く受ける受光素子を主受光素子となすと共にレーザ光源の他方側に位置して被測定物の立壁部からの第一次反射光を多く受ける受光素子を副受光素子となし、主受光素子および副受光素子からの各出力信号強度がノイズレベルであるか否かを判定する所定値を越えた段階で出力が大きい方の受光素子のデータを選択して三次元形状演算手段に送る選択手段を設けたことを特徴とする三次元形状測定装置。
IPC (2件):
G01B 11/24 ( 200 6.01) ,  A61C 19/04 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01B 11/24 A ,  A61C 19/04 Z

前のページに戻る