特許

J-GLOBAL ID：201103026488664231

固体撮像装置

発明者： 森 三佳 ,  沖野 徹 ,  廣瀬 裕 ,  加藤 剛久
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (10件)： 前田 弘 ,  竹内 宏 ,  嶋田 高久 ,  竹内 祐二 ,  今江 克実 ,  二宮 克也 ,  原田 智雄 ,  井関 勝守 ,  関 啓 ,  杉浦 靖也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-277203
公開番号（公開出願番号）：特開2011-119558
出願日： 2009年12月07日
公開日（公表日）： 2011年06月16日
要約：

【課題】感度が高く且つ混色を低減した裏面照射型の固体撮像装置を実現できるようにする。【解決手段】固体撮像装置は、半導体基板151と、半導体基板151に形成された複数の光電変換部161と、分離部163と、カラーフィルタ169と、出力回路162とを備えている。半導体基板151は、光入射面及び電荷検出面を有している。分離部163は、光電変換部161同士の間に形成され、半導体基板151に埋め込まれたシリコン層175を有する。カラーフィルタ169は、光入射面側に形成され、出力回路162は電荷検出面側に形成されている。シリコン層は、非晶質シリコン又は多結晶シリコンからなる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光入射面及び電荷検出面を有する半導体基板と、 前記半導体基板に形成され、第1導電型の不純物を含む複数の光電変換部と、 前記光電変換部の間に形成され、前記半導体基板に埋め込まれたシリコン層を有する分離部と、 前記光入射面側に形成されたカラーフィルタと、 前記電荷検出面側に形成された出力回路とを備え、 前記シリコン層は、非晶質シリコン又は多結晶シリコンからなることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H01L 21/322

FI (3件)：

H01L27/14 A ,  H01L27/14 D ,  H01L21/322 R

Fターム (15件)：

4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA32 ,  4M118DD04 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA28 ,  4M118GA02 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07