特許

J-GLOBAL ID：201103026517762892

熱処理装置

発明者： 前田 英樹 ,  西村 圭介 ,  福山 義治
出願人/特許権者： 光洋サーモシステム株式会社
代理人 (1件)： 渡邊 隆文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-143383
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343731
特許番号：特許第3603044号
出願日： 2001年05月14日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上端部に排気口を有する縦型のプロセスチューブと、継手部を介在して前記排気口に連結された排気管と、被処理物を搭載して前記プロセスチューブ内を昇降可能に配置されたボートとを備え、前記プロセスチューブ内で被処理物に熱処理を行う熱処理装置であって、前記排気口よりも大きく開口された開口部を有し、当該排気口側から落下する副生成物を回収するためのトレーを、その排気口と前記ボートの上部との間に配置したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/22 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

H01L 21/22 511 S ,  H01L 21/31 E

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 汚染物トラップ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-047031   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション