特許
J-GLOBAL ID：201103026722138930
位置出し治具及び位置出し治具を用いた吹き付け研磨装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275528
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089063
特許番号：特許第3896265号
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 研磨液吹き付けノズルから噴出する研磨液を被研磨材保持具に保持された被研磨材に吹き付けて研磨する吹き付け研磨装置に用いられ、前記研磨液吹き付けノズルと被研磨材の相対位置を決定するための位置出し治具であって、
前記研磨液吹き付けノズルから噴出した研磨液が入射する位置を検出するマーキングである穴と、前記穴と連通する前記研磨液を排出する排出経路とを有する位置検出機構を備え、
前記被研磨材保持具と交換して取り付けられ、前記ノズルから噴出する噴流が前記位置検出機構の前記穴を通過する通過状況を観察することにより前記研磨液吹き付けノズルの位置を調整し、該調整の後、前記被研磨材保持具と交換される事を特徴とする位置出し治具。
IPC (3件)：
B24C 3/12 ( 200 6.01)
, B24C 3/00 ( 200 6.01)
, B24C 3/32 ( 200 6.01)
B24C 3/12
, B24C 3/00 A
, B24C 3/32 D
