X線発生用ターゲット、X線発生装置、及びX線発生用ターゲットの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 石田悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-168460
公開番号（公開出願番号）：特開2011-077027
出願日： 2010年07月27日
公開日（公表日）： 2011年04月14日
要約：

【課題】ターゲット部における放熱性の向上が図られたX線発生用ターゲットを提供すること。【解決手段】X線発生用ターゲットT1は、ダイヤモンドからなり、互いに対向する第1及び第2主面1a,1bを有する基板1と、ターゲット部10と、を備えている。基板1には、第1主面1a側から有底状の穴部3が形成されている。ターゲット部10は、穴部3の底面から第1主面1a側に向かって堆積された金属からなる。ターゲット部10の外側面全体は、穴部3の内側面と密着している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドからなり、互いに対向する第1及び第2主面を有すると共に前記第1主面側から有底状の穴部が形成されている基板と、前記穴部の底面から前記第1主面側に向かって堆積された金属からなり、その外側面全体が前記穴部の内側面と密着しているターゲット部と、を備えていることを特徴とするX線発生用ターゲット。

IPC (2件)：

H01J 35/08 , H01J 35/14

FI (3件)：

H01J35/08 C , H01J35/08 B , H01J35/14

引用特許：

審査官引用 (9件)

X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-148081 出願人：住友電気工業株式会社
特開平2-297850
特開昭59-221948

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