特許

J-GLOBAL ID：201103027141939245

環状化合物及びそれを用いたネガ型レジスト組成物

発明者： 柏村 孝 ,  塩谷 英昭 ,  大和田 貴紀
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 喜平 ,  田中 有子 ,  佐藤 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-011832
公開番号（公開出願番号）：特開2011-173868
出願日： 2011年01月24日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：

【課題】高感度、ラインエッジラフネスの低減に効果的なネガ型フォトレジストに用いることのできる環状化合物の提供。【解決手段】下記式(1)で表される化合物。(式中、Rは、エポキシ基含有フェニル残基等を表す。R1は、水酸基等を表し、R2は、水素原子等を表す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される化合物。

IPC (3件)：

C07D 303/44 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

C07D303/44 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 531 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (19件)：

2H125AE12P ,  2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN61P ,  2H125AN82P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC11 ,  4C048AA01 ,  4C048AA04 ,  4C048BB13 ,  4C048BC06 ,  4C048CC03 ,  4C048UU10 ,  4C048XX01 ,  4C048XX04