グロー放電分解装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-071328
公開番号（公開出願番号）：特開平2-250975
特許番号：特許第2920637号
出願日： 1989年03月23日
公開日（公表日）： 1990年10月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数個の被成膜用円筒基体を直線状に各々立設配列した円筒基体配列群を反応室内部に2列に平行設置し、双方の円筒基体配列群の中心に各円筒基体配列群方向にガス噴出口を多数形成した電極部と、該電極部と円筒基体配列群との間に平面形状のメッシュ状電極とを配設し、これら電極部とメッシュ状電極との間でグロー放電を発生させるように構成し、かつ反応室の各円筒基体配列群背後にガス排出口を形成したグロー放電分解装置。

IPC (1件)：