特許
J-GLOBAL ID：201103027284544756
走査型トンネル電流検出装置,走査型トンネル顕微鏡,及び記録再生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-246427
公開番号（公開出願番号）：特開平2-216749
特許番号：特許第2896794号
出願日： 1989年09月25日
公開日（公表日）： 1990年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】支持台に支持された少なくとも2つのプローブ電極と、該プローブ電極に対して試料媒体を対向配置させる手段と、該プローブ電極と該試料媒体との間に電圧を印加する手段とを具備した走査型トンネル電流検出装置であって、前記プローブ電極の、少なくとも1つに該プローブ電極の支持台と前記試料媒体間の距離変動を計測し、該距離変動を補償する機構を持たせ、他の少なくとも1つを電流検出用電極とすることを特徴とする走査型トンネル電流検出装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 B
, G01N 37/00 A
, G11B 9/00
