特許
J-GLOBAL ID:201103027353687815
電気化学センサー用電極の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
須山 佐一
, 川原 行雄
, 山下 聡
, 須山 英明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-230917
公開番号(公開出願番号):特開2011-080773
出願日: 2009年10月02日
公開日(公表日): 2011年04月21日
要約:
【課題】従来の検出感度を維持しつつ、検出対象物の検出を簡便、かつ正確に行うことができる電気化学的検出装置に使用する電気化学センサー用電極を提供する。【解決手段】絶縁膜に円筒状かつ真直であり、均一な孔径の孔道を形成してろ過膜を、トラックエッチング法、フォトリソグラフィ法、パンチング法、レプリカ法及びレーザー法の少なくとも一つを用いて形成する。次いで、前記ろ過膜の表面にスパッタリング法、蒸着法、メッキ法及び印刷法の少なくとも一つを用いて導電膜を形成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
絶縁膜に円筒状かつ真直であり、均一な孔径の孔道を形成してろ過膜を形成する工程と、
前記ろ過膜の表面に導電膜を形成する工程と、
を具えることを特徴とする、電気化学センサー用電極の製造方法。
IPC (2件):
FI (5件):
G01N27/46 301Z
, G01N27/46 Z
, G01N27/46 F
, G01N27/30 B
, G01N27/30 Z
引用特許: