特許
J-GLOBAL ID：201103027699913960
接合シート貼付装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
青山 葆
, 河宮 治
, 古川 泰通
, 前田 厚司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400742
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197677
特許番号：特許第3796173号
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基材層とこの基材層に設けられた接合層とを備える接合シートから、上記接合層のみを部品に貼り付ける接合シート貼付装置であって、
上記部品が保持されるステージと、
上記ステージ上の部品に対して接合シートの接合層を押し付けるためのツールが配設された固定フレームと、
上記接合シートが送り出し可能に複数回巻回された回転可能なリールと、上記接合シートを回収する接合シート回収部と、上記リールから上記接合シート回収部へ接合シートを案内する接合シート案内部とが配設され、上記接合シートが上記ステージと上記ツールの間を通る第1の旋回位置と、上記接合シート案内部に案内される接合シートの向きが上記第1の旋回位置とは反転し、上記接合シートが上記ステージと上記ツールの間から離脱する第2の旋回位置とに、上記固定フレームに対して水平方向に旋回可能な可動フレームと
を備える、接合シート貼付装置。
IPC (6件)：
H01L 21/60 ( 200 6.01)
, B29C 65/20 ( 200 6.01)
, B29C 65/78 ( 200 6.01)
, G02F 1/1345 ( 200 6.01)
, B29L 9/00 ( 200 6.01)
, B29L 11/00 ( 200 6.01)
H01L 21/60 311 R
, B29C 65/20
, B29C 65/78
, G02F 1/134
, B29L 9:00
, B29L 11:00
