特許

J-GLOBAL ID：201103027753553729

機能性堆積膜の製造方法及び該機能性堆積膜の製造装置

発明者： 青木 誠 ,  新納 博明 ,  古島 聡 ,  土田 伸史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 宮崎 昭夫 ,  金田 暢之 ,  石橋 政幸 ,  伊藤 克博
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-196093
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023909
特許番号：特許第3848018号
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】機能性堆積膜を形成すべき基体が内部に載置される真空容器内に、前記機能性堆積膜の原料となるガスをガス供給経路から供給するガス供給工程と、前記真空容器内でプラズマを発生させるプラズマ発生工程とを含む機能性堆積膜の製造方法において、 前記ガス供給工程は、複数系統の前記ガス供給経路から前記ガスを供給するものであるとともに、 前記各ガス供給経路からのガス流量を一定とする一定供給工程と、 前記各ガス供給経路からのガス流量の総和が、前記一定供給工程のガス流量の総和と略同一となるように、ガス流量を前記一定供給工程のガス流量に対して変化させる変動供給工程とを含むことを特徴とする機能性堆積膜の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ( 200 6.01) ,  C23C 16/505 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/505