特許

J-GLOBAL ID：201103027770772760

ITOターゲットの製造方法

発明者： 栗原 敏也 ,  古仲 充之 ,  中島 光一
出願人/特許権者： 日鉱金属株式会社
代理人 (2件)： 小越 勇 ,  木下 洋平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-120355
公開番号（公開出願番号）：特開2001-303239
特許番号：特許第4522535号
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水酸化インジウムを分散させた分散溶液とメタスズ酸を分散させた分散溶液を混合して混合分散溶液とし、この混合分散溶液を乾燥させた後焙焼し、これによって得た酸化物混合粉末の成形体を焼結することを特徴とするITOターゲットの製造方法。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C23C 14/08 ( 200 6.01) ,  C04B 35/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C23C 14/34 A ,  C23C 14/08 D ,  C04B 35/00 J