イオン源

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363278
特許番号：特許第3087176号
出願日： 1999年12月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】フィラメントから発生した熱電子を利用してインジウムを含む原料ガスをプラズマ生成容器内で電離させてインジウムイオンを含むイオンビームを引き出すイオン源において、前記原料ガスがトリメチルインジウムガスまたはトリエチルインジウムガスであり、かつ前記フィラメントがタンタルから成ることを特徴とするイオン源。

IPC (3件)：

H01J 27/08 , H01J 37/08 , H01L 21/265 603

FI (3件)：

H01J 27/08 , H01J 37/08 , H01L 21/265 603 A

前のページに戻る