特許

J-GLOBAL ID：201103027976736370

電離真空計

発明者： 川崎 洋輔 ,  田村 芳一 ,  大迫 信治
出願人/特許権者： キヤノンアネルバ株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 正次
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-141976
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329634
特許番号：特許第4196367号
出願日： 1999年05月21日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空中の気体分子をイオン化するために必要な電子を供給するためのフィラメントと、フィラメントから供給された熱電子を加速させるのに必要な電位を形成するグリッド並びにイオン化された気体の正イオンを収集するイオンコレクタより構成される電離真空計において、前記グリッドをピラニ真空計におけるフィラメントの動作をも行えるように構成したことを特徴とする電離真空計。

IPC (3件)：

G01L 21/30 ( 200 6.01) ,  G01L 21/12 ( 200 6.01) ,  G01L 21/32 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01L 21/30 A ,  G01L 21/12 ,  G01L 21/32