特許

J-GLOBAL ID：201103028019966696

ポジ型レジスト組成物

発明者： 尾家 正行 ,  河田 正司 ,  山田 隆正
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-118163
公開番号（公開出願番号）：特開平2-296249
特許番号：特許第2741243号
出願日： 1989年05月11日
公開日（公表日）： 1990年12月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルカリ可溶性フェノール樹脂と感光剤を含有するポジ型レジスト組成物において、該感光剤として、下記一般式(I)で示される化合物のキノンジアジドスルホン酸エステルを含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。R1〜R5;水素、ハロゲン、C1〜C4のアルキル基、アルケニル基、アルコキシ基又は水酸基、ただし少なくともひとつは水酸基であり、少なくともふたつはR6、R7;水素、ハロゲン、アルキル基又はアルケニル基n=0、1又は2

IPC (2件)：

G03F 7/022 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/022 601 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-218616
  
• 特表平4-502519