特許
J-GLOBAL ID：201103028064333041
付着力測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-057113
公開番号（公開出願番号）：特開平2-236142
特許番号：特許第2745648号
出願日： 1989年03月08日
公開日（公表日）： 1990年09月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】成膜された基板を押し曲げる圧子と、この圧子に押圧力を与える基板荷重付加部と、前記基板または薄膜ならびに両者の界面から発生するアコースティックエミッション(Accoustic Emission)を検出する手段と、前記基板のたわみ量を測定する基板たわみ検出部と、剥離を観察するための顕微鏡と、この顕微鏡の視野および焦点を、剥離が発生している領域に自動的に設定する顕微鏡制御部とを備えたことを特徴とする付着力測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 19/04 B
, G01N 3/00 P
