特許
J-GLOBAL ID：201103028195472802
基板ストッパ機構
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-017973
公開番号（公開出願番号）：特開2001-206539
特許番号：特許第4503759号
出願日： 2000年01月25日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1の基板搬送コンベヤと、前記第1の基板搬送コンベヤに対して相対的に接近及び離間する第2の基板搬送コンベヤと、前記第1の基板搬送コンベヤと前記第2の基板搬送コンベヤとを連結する連結機構とを備えた基板搬送装置に設けられた基板搬送ストッパ機構であり、前記第1の基板搬送コンベヤに回動可能に取り付けられ、フレームとこのフレームに回転可能に取り付けられ前記第1の基板搬送コンベヤの駆動に伴い回転する第1の伝動部材とを備え、前記第1及び第2の基板搬送コンベヤの接近に伴って前記第1の伝動部材と第2の基板搬送コンベヤに設けられ前記第1の伝動部材と接触して該第1の伝動部材の回転により駆動されて回転して第2の基板搬送コンベヤを駆動する第2の伝動部材とを連結し、前記第1及び第2の基板搬送コンベヤを伝動連結する前記連結機構の前記フレームに設けられ、第1及び第2の伝動部材が連結され前記第1及び第2の基板搬送コンベヤが接近し前記フレーム及び前記第1の伝動部材が回動している状態で前記第1の基板搬送コンベヤ上の基板が前記第2の基板搬送コンベヤ上に移動するのを許容するとともに、前記第1及び第2の基板搬送コンベヤが離れて前記第1及び第2の伝動部材が離間した状態で接近前の位置に前記フレームと一体的に回動し、前記第1の基板搬送コンベヤ上の基板が所定位置よりも前記第2の基板搬送コンベヤ側に移動しないように規制する規制部材を備えたことを特徴とする基板ストッパ機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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