特許

J-GLOBAL ID：201103028706086477

感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明者： 高橋 秀知 ,  平野 修史 ,  白川 三千紘
出願人/特許権者： 富士フイルム株式会社
代理人 (19件)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-277971
公開番号（公開出願番号）：特開2011-118310
出願日： 2009年12月07日
公開日（公表日）： 2011年06月16日
要約：

【課題】特にArFエキシマレーザー、電子線、X線、EUV等を露光光源とする場合に、ラフネス特性及びドライエッチング耐性に優れたパターンを形成することが可能な感活性光線性または感放射線性樹脂樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。【解決手段】活性光線または放射線の照射により分解して樹脂の側鎖に酸アニオンを発生する部位を含む繰り返し単位(A)を有する樹脂(P)を含み、繰り返し単位(A)が炭素数7以上の芳香環を、少なくとも、該酸アニオン発生部位を有する側鎖上であって該酸アニオン発生部位以外に有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

活性光線または放射線の照射により分解して樹脂の側鎖に酸アニオンを発生する部位を含む繰り返し単位(A)を有する樹脂(P)を含み、繰り返し単位(A)が炭素数7以上の芳香環を、少なくとも、該酸アニオン発生部位を有する側鎖上であって該酸アニオン発生部位以外に有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  C08F 12/14 ,  C08F 20/10 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/004 503A ,  G03F7/039 601 ,  C08F12/14 ,  C08F20/10 ,  H01L21/30 502R

Fターム (110件)：

2H125AF15P ,  2H125AF17P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF27P ,  2H125AF34P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH04 ,  2H125AH05 ,  2H125AH10 ,  2H125AH12 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ04X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ16Y ,  2H125AJ32Y ,  2H125AJ42Y ,  2H125AJ43Y ,  2H125AJ48Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ66X ,  2H125AJ68Y ,  2H125AJ69Y ,  2H125AL11 ,  2H125AM09P ,  2H125AM12P ,  2H125AM22P ,  2H125AM27P ,  2H125AM94P ,  2H125AM99P ,  2H125AN08P ,  2H125AN31P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN62P ,  2H125AN63P ,  2H125AN64P ,  2H125AN65P ,  2H125AN67P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CB12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4J100AB07P ,  4J100AB07R ,  4J100AJ02R ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AM21P ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA04Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BA15S ,  4J100BA28P ,  4J100BA40S ,  4J100BA50P ,  4J100BA56P ,  4J100BA58P ,  4J100BB10P ,  4J100BB11P ,  4J100BB11R ,  4J100BB12P ,  4J100BB18P ,  4J100BC03Q ,  4J100BC04Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC43P ,  4J100BC43Q ,  4J100BC48P ,  4J100BC49P ,  4J100BC53S ,  4J100BC65P ,  4J100BC74P ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38