特許
J-GLOBAL ID：201103028719140969
基板処理装置及びその増設方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 敬介
, 山口 芳広
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-253512
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076091
特許番号：特許第4253107号
出願日： 2000年08月24日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 搬送チャンバと当該搬送チャンバの周囲に接続される処理チャンバ及びロードロックチャンバとからなる基板処理装置であって、
前記処理チャンバ及びロードロックチャンバは、前記搬送チャンバの周囲に搬送チャンバと同一環境に維持可能にして接続される増設用接続部品を介して、前記搬送チャンバの周囲に接続され、
前記増設用接続部品は、底辺と二つの斜辺とを有する三角形状で、増設が行われる前記搬送チャンバの面に当該底辺側の面が取り付けられ、前記斜辺の一方に増設が行われる前記搬送チャンバの面に取り付けられていた前記処理チャンバ又はロードロックチャンバが取り付けられ、前記斜辺の他方に増設される処理チャンバ又はロードロックチャンバが取り付けられる
ことを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, C23C 14/56 ( 200 6.01)
, C23C 16/44 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
H01L 21/68 A
, C23C 14/56 F
, C23C 16/44 B
, H01L 21/205
