特許

J-GLOBAL ID：201103028745173050

振動検出方法

発明者： 三浦 ▲しん▼介
出願人/特許権者： 山一電機株式会社
代理人 (1件)： 中畑 孝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-036139
特許番号：特許第3030293号
出願日： 1999年02月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】振動センサーとして振動により厚み方向にベンディングする弾性表面波素子を用い、このベンディングによる弾性表面波素子の表面に施された入力側電極対と出力側電極対における電極間隔の拡縮変動に応じて周波数変調動作を惹起させ、この変調周波数信号から上記振動の波形を把握することを特徴とする振動検出方法。

IPC (1件)：

G01H 11/08

FI (1件)：

G01H 11/08 D