特許
J-GLOBAL ID：201103028747023366

イオン液体を有するブロック共重合体膜の自己組織化における長距離秩序を改善する方法

発明者：
レグナー,ジェニファー カール

レグナー,ジェニファー カール について


出願人/特許権者：
マイクロン テクノロジー, インク.

マイクロン テクノロジー, インク. について


代理人 (2件)： 野村 泰久 ,  大菅 義之
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-500847
公開番号（公開出願番号）：特表2011-518652
出願日： 2009年03月03日
公開日（公表日）： 2011年06月30日
要約：
自己組織化ブロック共重合体を使用して、改良された長距離秩序を有する、ポリマーマトリクスにおけるナノスケールの交互ラメラもしくは円筒のアレイを作製するための方法、ならびに、これらの方法から形成される膜およびデバイスが提供される。
請求項（抜粋）：
基板上にナノ構造のポリマー材料を形成する方法であって、 前記基板上の材料層内のトレンチ内に自己組織化ラメラ相ブロック共重合体組成物を形成するステップであって、前記トレンチは、長さ、中性湿潤底面、および前記ブロック共重合体の第一のブロックに対して優先的に湿潤である、対立する複数の側壁および複数の終端を有し、前記ブロック共重合体組成物は、ブロック共重合体とイオン液体とのブレンドを含む、ステップと、 前記ブロック共重合体材料が、前記トレンチ底面に対して垂直に配向され、前記トレンチの前記長さを伸長する前記ブロック共重合体の前記第一のブロックおよび第二のブロックの複数の交互ラメラドメインへと自己組織化するように、前記ブロック共重合体材料をアニーリングするステップと、 を含む、 ことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
B05D 7/24 ,  C08J 5/00
FI (2件)：
B05D7/24 301Z ,  C08J5/00
Fターム (29件)：
3C081BA04 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA23 ,  3C081CA31 ,  3C081CA40 ,  3C081DA10 ,  4D075BB60Z ,  4D075BB66Z ,  4D075DA06 ,  4D075DB14 ,  4D075EA06 ,  4D075EB22 ,  4D075EB49 ,  4F071AA75 ,  4F071AB24 ,  4F071AB25 ,  4F071AB27 ,  4F071AC05 ,  4F071AC09 ,  4F071AC10 ,  4F071AC12 ,  4F071AC14 ,  4F071AC15 ,  4F071AE04 ,  4F071AE10 ,  4F071AE22 ,  4F071AG28 ,  4F071AH19
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)
引用文献：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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