特許

J-GLOBAL ID：201103028753956684

表面平坦化方法、光学素子の作製方法

発明者： 平田 和也 ,  多幡 能徳
出願人/特許権者： シグマ光機株式会社
代理人 (2件)： 林 信之 ,  安彦 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-003796
公開番号（公開出願番号）：特開2011-144052
出願日： 2010年01月12日
公開日（公表日）： 2011年07月28日
要約：

【課題】近接場光エッチングを実行しつつ、リアルタイムで表面粗さを計測する。【解決手段】原料ガス雰囲気中に光学素子2を配置し、原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を光学素子2に照射することにより、当該光学素子2表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、更にエッチング中に光学素子2表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、そのレーザ光が光学素子2表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて角部へのエッチングによる表面粗さを計測する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

原料ガス雰囲気中に光学素子を配置し、 上記原料ガスのガス分子の吸収端波長よりも長波長からなる光を上記光学素子に照射することにより、当該光学素子表面に形成された凹凸における少なくとも角部に発生させた近接場光に基づいて上記原料ガスを解離させて上記角部をエッチングし、 更に上記エッチング中に上記光学素子表面に対して表面粗さ計測用のレーザ光を照射し、上記レーザ光が上記光学素子表面で散乱された散乱光の強度を測定し、測定した散乱光強度に基づいて上記角部へのエッチングによる表面粗さを計測すること を特徴とする表面平坦化方法。

IPC (3件)：

C03C 15/00 ,  G02B 3/00 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

C03C15/00 A ,  G02B3/00 Z ,  G01B11/30 A

Fターム (14件)：

2F065AA50 ,  2F065DD06 ,  2F065GG04 ,  2F065GG07 ,  2F065HH03 ,  2F065LL22 ,  2F065LL30 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  4G059AA11 ,  4G059AC03 ,  4G059BB01