特許
J-GLOBAL ID：201103028820406171
表面検査装置の調整方法及び表面検査装置用調整装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (9件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 中村 誠
, 蔵田 昌俊
, 峰 隆司
, 福原 淑弘
, 白根 俊郎
, 村松 貞男
, 橋本 良郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361180
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174414
特許番号：特許第3591401号
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】表面にラインセンサカメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心にして上下に互い違いに複数の三角形が描かれたパターンを具備する基準板を被検査体が測定を行う位置に設置するステップと、前記基準板表面のパターンに対して照明光を照射するステップと、照明光が照射された前記基準板面の光学画像をラインセンサカメラで撮影し、該光学画像を電気的信号に変換するステップと、前記ラインセンサカメラで変換された電気的信号から輝度分布を得るステップと、前記輝度分布から任意のしきい値に対する明暗パターンのエッジ位置を複数求めるステップと、求められたエッジ位置における前記基準線からの三角形のエッジの距離を求めるステップと、求められた複数のエッジ位置と、それぞれのエッジ位置における前記基準線からの三角形のエッジの距離とから最小自乗法によりラインセンサカメラ視野の直線式を算出した場合と前記得られたエッジ位置のうち1点のみを順次基準線からの距離0として最小自乗法によりラインセンサカメラ視野の直線式を算出した場合とを比較し、自乗誤差の最も小さい直線をカメラ視野位置と決定し、前記直線に視野両端位置を代入して、前記ラインセンサカメラの回転ズレ及び長手方向ズレを検出するステップとを含むことを特徴とする表面検査装置の調整方法。
IPC (5件)：
G01N 21/892
, G01B 11/00
, G01B 11/26
, G01N 21/93
, G05D 3/12
G01N 21/892 B
, G01B 11/00 H
, G01B 11/26 H
, G01N 21/93
, G05D 3/12 L
