特許

J-GLOBAL ID：201103028988958196

感放射線性樹脂組成物、表示素子用スペーサー、保護膜、層間絶縁膜ならびにそれらの形成方法

発明者： 猪俣 克巳
出願人/特許権者： JSR株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-071753
公開番号（公開出願番号）：特開2011-203562
出願日： 2010年03月26日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：

【課題】紫外線領域における光に対する耐性に優れ、高感度で表示素子のスペーサー、保護膜、層間絶縁膜を形成しえる感放射線性樹脂組成物であり、表示素子のスペーサーとして、従来から要求されているラビング耐性と、高回復率と柔軟性を併せ持つ圧縮性能を維持しつつ、さらに高度の膜厚均一性を有する表示素子用の保護膜、層間絶縁膜ならびにその形成方法を提供することにある。【解決手段】(A)カルボキシル基を有する重合体、(B)重合性不飽和化合物、(C)感放射線性重合開始剤、ならびに(D)下記式(1)または(2)で示される化合物から選ばれる少なくとも1種を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)カルボキシル基を有する重合体 (B)重合性不飽和化合物、 (C)感放射線性重合開始剤、ならびに (D)下記式(1)または(2)で示される化合物から選ばれる少なくとも1種を含有し、(D)成分の使用量が(A)成分の使用量に対して0.1から10質量部の範囲であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物

IPC (9件)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027 ,  G02F 1/133 ,  C08F 290/12 ,  C08F 2/44

FI (11件)：

G03F7/004 502 ,  G03F7/038 501 ,  G03F7/032 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R ,  G02F1/1339 500 ,  G02F1/1333 505 ,  C08F290/12 ,  C08F2/44 Z

Fターム (140件)：

2H090HA05 ,  2H090HB13X ,  2H090HC10 ,  2H090LA02 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H125AC36 ,  2H125AC37 ,  2H125AC47 ,  2H125AC58 ,  2H125AC72 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AE13P ,  2H125AE18P ,  2H125AF13P ,  2H125AF17P ,  2H125AF35P ,  2H125AF46P ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM32P ,  2H125AN39P ,  2H125AN58P ,  2H125AN91P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA08P ,  2H125BA10P ,  2H125BA32P ,  2H125CA16 ,  2H125CA22 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H189DA06 ,  2H189EA06X ,  2H189FA16 ,  2H189GA11 ,  2H189HA02 ,  2H189HA05 ,  2H189HA14 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011BB10 ,  4J011CA02 ,  4J011CA08 ,  4J011CC10 ,  4J011DB22 ,  4J011PA69 ,  4J011PB21 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA33 ,  4J011QA34 ,  4J011QA35 ,  4J011QA46 ,  4J011SA15 ,  4J011SA16 ,  4J011SA25 ,  4J011SA61 ,  4J011SA78 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08P ,  4J100BA02P ,  4J100BA16P ,  4J100BC04P ,  4J100BC53P ,  4J100BC54P ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127AA06 ,  4J127BB041 ,  4J127BB052 ,  4J127BB081 ,  4J127BB112 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BC022 ,  4J127BC031 ,  4J127BC122 ,  4J127BC151 ,  4J127BD061 ,  4J127BD422 ,  4J127BD452 ,  4J127BE05X ,  4J127BE051 ,  4J127BE11X ,  4J127BE111 ,  4J127BE21Y ,  4J127BE212 ,  4J127BE24X ,  4J127BE241 ,  4J127BE34X ,  4J127BE341 ,  4J127BE51Y ,  4J127BE511 ,  4J127BF62Y ,  4J127BF622 ,  4J127BG04X ,  4J127BG041 ,  4J127BG05X ,  4J127BG051 ,  4J127BG16X ,  4J127BG161 ,  4J127BG17X ,  4J127BG171 ,  4J127BG27Y ,  4J127BG271 ,  4J127CB153 ,  4J127CB371 ,  4J127CB372 ,  4J127CC092 ,  4J127CC111 ,  4J127CC112 ,  4J127CC153 ,  4J127EA13 ,  4J127FA00 ,  4J127FA08 ,  4J127FA17 ,  4J127FA37