特許
J-GLOBAL ID：201103029360274502
半導体バーンイン工程の半導体デバイス自動分類装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
八田 幹雄
, 野上 敦
, 奈良 泰男
, 齋藤 悦子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224547
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065896
特許番号：特許第3745566号
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】中央に開口部が形成されたステージを持つ本体と、
半導体デバイスが載置されたバーンインボードを積載して前記本体の側部に配置され、前記バーンインボードを上下させて前記開口部の底部にローディングするかまたは前記開口部の底部から前記バーンインボードをアンローディングするバーンインボードエレベータとを含み、
前記本体は、
ローディングトレーを積載した状態で前記ステージの片側前方部上に前後方向に配置されるローディングターミナル部と、
前記開口部を介して前記ローディングターミナル部と所定間隔離隔され、アンローディングトレーを積載した状態で前記ステージの前方部に前後方向に配置されるアンローディングターミナル部と、
前記開口部と前記ローディングターミナル部との間に前記ステージの前後方向に移動可能に設けられ、前記ローディングトレーに載置された前記半導体デバイスのDC状態をテストするDCテスト部と、
前記開口部の底部に配置され、前記バーンインボードエレベータから前記バーンインボードがローディングされる場合に、前記バーンインボードを積載した状態で前記バーンインボードの所定部位が前記開口部の上部に露出されるようにXY軸方向に移動するXYテーブル部と、
前記開口部と前記アンローディングターミナル部との間に前記ステージの前後方向に移動可能に設けられ、バーンインテスト工程の結果によって前記バーンインボードに載置された前記半導体デバイスの搬送経路を決定する搬送ポケット部と、
前記アンローディングターミナル部を介して前記ステージの前後方向に移動可能に前記搬送ポケット部の側部に配置され、所定の条件によって排除された前記半導体デバイスを分別して載置するリジェクティングトレー部と、
前記ステージの前方部の上側に移動可能に配置され、前記半導体デバイスを把持して前記ローディングトレー、DCテスト部、バーンインボード、搬送ポケット部、アンローディングトレーの各々に出し入れする良品処理移送部と、
前記ステージの後方部の上側に前記リジェクティングトレー部の移動方向と直交するように移動可能に配置され、前記DCテストとバーンインテストとの結果によって前記DCテスト部、搬送ポケット部が前記ステージの後方に移動する場合、前記半導体デバイスを把持して前記リジェクティングトレー部に移送する不良品処理移送部とを含むことを特徴とする半導体バーンイン工程の半導体デバイス自動分類装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 Z
, G01R 31/26 H
