特許

J-GLOBAL ID：201103029364372886

感光性組成物とその利用

発明者： リチャード バイキヤリー ,  ダグラス ジエイ ゴートン ,  ウイリアム デイ ヒンズバーグ ザ サード ,  デニス アール マッキヤン ,  カールトン ジー ウイルソン
出願人/特許権者： ヘキスト セラニーズ コーポレーシヨン ,  インターナシヨナル ビジネス マシーンズ コーポレーション
代理人 (1件)： 斉藤 武彦 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-271941
公開番号（公開出願番号）：特開平2-166105
特許番号：特許第2524228号
出願日： 1989年10月20日
公開日（公表日）： 1990年06月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】組成物を基板上にコートして化学線照射に画像形成のために露光させた時に画像としての差を与えるに足る量の感光剤;及び組成物成分を実質上均一な混合物として結合させるに足る量の結合剤の混合物からなる感光性組成物において、該結合剤が、(a) 置換基の無い4-ヒドロキシスチレン単量体と(b) 式:〔但しA,B,C及びDは独立してH又はC1乃至C3アルキルであり而してA,B,C及びDの少なくとも1がC1乃至C3アルキルである〕の置換4-ヒドロキシスチレン単量体との共重合体であって、約800乃至約100,000の分子量を有しており;単量体(a)の単量体(b)に対するモル比が約3:1乃至約1:3の範囲である共重合体からなることを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

C08L 25/16 LEK ,  C08F 212/14 MJY ,  G03F 7/027

FI (3件)：

C08L 25/16 LEK ,  C08F 212/14 MJY ,  G03F 7/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-031405
  
• 特開昭54-017949
  
• 特開昭54-014451