特許
J-GLOBAL ID：201103029478724766
インジウムアンチモン膜の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-015351
公開番号（公開出願番号）：特開平2-194623
特許番号：特許第2730124号
出願日： 1989年01月24日
公開日（公表日）： 1990年08月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板の片面の表面温度が他の片面の表面温度よりも高い温度勾配を有する基板の高温度側表面に、インジウムおよびアンチモンを蒸着して膜を形成するインジウムアンチモン膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/203 Z
, H01L 43/12
