特許

J-GLOBAL ID：201103029514853799

クリーンブース

発明者： 五味 弘
出願人/特許権者： 高砂熱学工業株式会社
代理人 (4件)： 川口 嘉之 ,  遠山 勉 ,  松倉 秀実 ,  永田 豊
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252596
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074286
特許番号：特許第3959209号
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 クリーンエアを供給するクリーンエア供給手段と、 前記クリーンエア供給手段に着脱自在に接続され前記クリーンエアを一方向気流として清浄空間へ供給するサプライチャンバと、を備えるクリーンブースにおいて、 前記サプライチャンバは、前記清浄空間へクリーンエアを一方向に吹き出すクリーンエア吹出部と、前記クリーンエア供給手段と着脱自在に接続するための接続部とを有するとともに、前記クリーンエアが供給されたときに前記サプライチャンバ内部が外部に対して正圧となり所定の形状を形成する通気抵抗である所定の通気抵抗を有する変形自在な薄膜によって形成され、前記クリーンエア供給手段からの前記クリーンエアの供給により生じる内圧によって前記クリーンエアを前記清浄空間へ供給する際の姿勢である供給姿勢が形成されることを特徴とするクリーンブース。

IPC (1件)：

F24F 7/06 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F24F 7/06 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• クリーンユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-010979   出願人：雉鼻晃