ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機EL表示装置、及び、液晶表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：野口恭弘 , 深海明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-011490
公開番号（公開出願番号）：特開2011-215596
出願日： 2011年01月24日
公開日（公表日）： 2011年10月27日
要約：

【課題】塗布性に優れ、現像ムラ及び画像欠陥が少なく、平面性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜の形成方法を提供すること。【解決手段】(成分A)式(1)で表される構成単位A及び構成単位Bを含み、重量平均分子量が1,000以上10,000以下である共重合体、(成分B)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、(成分C)光酸発生剤、並びに、(成分D)溶剤を含有し、前記成分Aを0.001〜1.00重量%含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(成分A)下記式(1)で表される構成単位A及び構成単位Bを含み、重量平均分子量が1,000以上10,000以下である共重合体、 (成分B)酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、 (成分C)光酸発生剤、並びに、 (成分D)溶剤を含有し、前記成分Aを0.001〜1.00重量%含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , H01L 51/50 , H05B 33/22 , H05B 33/12 , H01L 21/027 , C08F 220/24

FI (10件)：

G03F7/004 504 , G03F7/039 601 , G03F7/004 503A , G03F7/004 503Z , G03F7/004 501 , H05B33/14 A , H05B33/22 Z , H05B33/12 B , H01L21/30 502R , C08F220/24

Fターム (63件)：

2H125AE13P , 2H125AE15P , 2H125AE18P , 2H125AF52P , 2H125AH05 , 2H125AH06 , 2H125AH12 , 2H125AH13 , 2H125AJ04Y , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ44Y , 2H125AJ63X , 2H125AJ63Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AJ85Y , 2H125AM26P , 2H125AM27P , 2H125AN23P , 2H125AN29P , 2H125AN31P , 2H125AN34P , 2H125AN36P , 2H125AN37P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN56P , 2H125AN58P , 2H125AN82P , 2H125AN85P , 2H125BA05P , 2H125BA09P , 2H125BA11P , 2H125BA22P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125CA24 , 2H125CB06 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125CD08P , 2H125CD12P , 2H125CD38 , 2H125CD40 , 3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC45 , 3K107DD89 , 3K107DD90 , 3K107DD97 , 3K107EE03 , 3K107FF05 , 3K107FF14 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA08Q , 4J100BB18P , 4J100CA03 , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100JA32 , 4J100JA37

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