柱状体材料の切断方法及びその切断装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-175275
公開番号（公開出願番号）：特開平3-039203
特許番号：特許第2713770号
出願日： 1989年07月06日
公開日（公表日）： 1991年02月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】装置本体に摺動自在に支持された送りテーブルに、テーブルの移動方向に直交して柱状体材料を割り出し送りする割り出しスライダが取り付けられ、回転する切断刃によって該柱状体材料を薄片状のウエハに切断する柱状体材料の切断方法に於いて、切断中に生じた前記柱状体材料の撓み量を検出し、該検出値に基づいて切断中の撓み量を相殺するよう柱状体材料の姿勢制御を行いながら切断を行うことを特徴とする柱状体材料の切断方法。

IPC (1件)：