特許

J-GLOBAL ID：201103029740230559

温度制御装置および異常判定方法

発明者： 田中 雅人 ,  菅原 文仁
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-245269
公開番号（公開出願番号）：特開2011-090610
出願日： 2009年10月26日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】センサ剥れなどの装置の異常や温度計測値の異常を検出する。【解決手段】温度制御装置は、リミットサイクルを発生させてPID演算部2のPIDパラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング(AT)を実行するAT実行部4と、AT実行時の最大昇温変化率を検出する最大昇温変化率検出部6と、AT実行時の最大降温変化率を検出する最大降温変化率検出部7と、最大昇温変化率と最大降温変化率を利用して異常判定用の閾値を決定する閾値算出部8と、PID演算部2による通常の制御動作時に計測される温度PVの変化率ΔPVを検出する変化率検出部9と、変化率ΔPVが閾値よりも大きな値になった場合に異常と判定する異常判定部10と、異常判定部10の判定結果をオペレータに通知する判定出力部11とを備える。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

通常の制御動作時にヒータに電力を供給する電力調整器に操作量MVを出力して制御対象の温度PVを制御するPID演算手段と、 前記電力調整器に一定振幅の操作量MVを繰り返し出力するリミットサイクルを発生させて前記PID演算手段のPIDパラメータを設定するリミットサイクル方式のオートチューニング(AT)を実行するAT実行手段と、 AT実行時の温度PVの最大昇温変化率を検出する最大昇温変化率検出手段と、 AT実行時の温度PVの最大降温変化率を検出する最大降温変化率検出手段と、 前記最大昇温変化率と前記最大降温変化率とを利用して異常判定用の閾値を決定する閾値算出手段と、 通常の制御動作時に計測される温度PVの変化率ΔPVを検出する変化率検出手段と、 通常の制御動作時に前記変化率ΔPVが前記閾値よりも大きな値になった場合に異常と判定する異常判定手段と、 この異常判定手段の判定結果をオペレータに通知する判定出力手段とを備えることを特徴とする温度制御装置。

IPC (3件)：

G05B 23/02 ,  G05B 13/02 ,  G05D 23/19

FI (3件)：

G05B23/02 302S ,  G05B13/02 A ,  G05D23/19 J

Fターム (24件)：

5H004GB20 ,  5H004HA01 ,  5H004HB01 ,  5H004JB29 ,  5H004KB02 ,  5H004KB04 ,  5H004KB06 ,  5H004KC48 ,  5H223AA11 ,  5H223BB02 ,  5H223CC01 ,  5H223EE02 ,  5H223FF02 ,  5H323BB18 ,  5H323DA01 ,  5H323GG02 ,  5H323HH02 ,  5H323KK05 ,  5H323LL01 ,  5H323LL02 ,  5H323LL29 ,  5H323RR10 ,  5H323SS07 ,  5H323TT02