特許
J-GLOBAL ID：201103029753994051
電子デバイスの絶縁性薄膜の信頼性評価法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
柳瀬 睦肇
, 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-200603
公開番号（公開出願番号）：特開2011-054674
出願日： 2009年08月31日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
【課題】電子デバイスの絶縁性薄膜の信頼性評価を行う方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、MLCC2を用意する工程と、前記第1の導電体が抵抗素子4の一方端に電気的に接続され、前記抵抗素子の他方端が第1の直流電源5に電気的に接続され、前記第1の直流電源が前記第2の導電体に電気的に接続され、前記抵抗素子の一方端及び他方端それぞれが増幅器7の入力側に電気的に接続され、前記増幅器の出力側が周波数分析器8に電気的に接続された接続状態で、前記増幅器の出力を前記周波数分析器によって分析することで得られるPool Frenkel電流に基づく1/f特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさを測定する工程と、前記工程で測定された1/f電流ゆらぎの大きさが大きい場合は、前記絶縁性薄膜の質が悪いと判定し、前記工程で測定された1/f電流ゆらぎの大きさが小さい場合は、前記絶縁性薄膜の質が良いと判定する工程とを具備する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
絶縁性薄膜の一方面に形成された第1の導電体と、前記絶縁性薄膜の他方面に形成された第2の導電体を有する電子デバイスを用意する工程と、
前記第1の導電体が抵抗素子の一方端に電気的に接続され、前記抵抗素子の他方端が第1の直流電源に電気的に接続され、前記第1の直流電源が前記第2の導電体に電気的に接続され、前記抵抗素子の一方端及び他方端それぞれが増幅器の入力側に電気的に接続され、前記増幅器の出力側が周波数分析器に電気的に接続された接続状態で、前記増幅器の出力を前記周波数分析器によって分析することで得られるPool Frenkel電流又は不完全な絶縁性薄膜に起因する漏えい電流に基づく1/fα特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさを測定する工程と、
前記工程で測定された1/fα特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさが大きい場合は、前記絶縁性薄膜の質が悪いと判定し、前記工程で測定された1/fα特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさが小さい場合は、前記絶縁性薄膜の質が良いと判定する工程と、
を具備することを特徴とする電子デバイスの絶縁性薄膜の信頼性評価法。
但し、0.5≦α≦1.5
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/66 Q
, H01G13/00 361D
4M106AA12
, 4M106AA13
, 4M106BA14
, 4M106CA09
, 4M106CA27
, 4M106CA56
, 4M106DH04
, 4M106DJ20
, 5E082AB03
, 5E082MM35
