特許

J-GLOBAL ID：201103029836014423

移動体装置、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者： 金谷 有歩
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-027374
公開番号（公開出願番号）：特開2011-165919
出願日： 2010年02月10日
公開日（公表日）： 2011年08月25日
要約：

【課題】複数の光ファイバを接続した光ファイバケーブルを介してエンコーダヘッドから検出器へ出力ビームを接続損失なく送る。【解決手段】エンコーダから出力ビームを検出器へ送る一系統の受光用ファイバとして、エンコーダ側に位置する光ファイバF1のコアCR1の端面(射出端面)と該射出端面より大きな検出器側に位置する光ファイバF2のコアCR2の端面(受光端面)とを対向して継がれた光ファイバケーブルを用いる。これにより、光ファイバの継ぎ部において光の漏れが生じることがなく、エンコーダの高い計測精度を確保することが可能となる。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

所定平面内を移動する移動体を含む移動体装置であって、 前記移動体と該移動体の外部との一方に設けられた光源、ヘッド及び検出器を有し、前記移動体と該移動体の外部との他方に設けられた計測面に前記光源からの光を前記ヘッドから計測光として照射し、前記計測面からの光を前記ヘッドを介して前記検出器で受光し、受光結果に基づいて前記移動体の位置を計測する位置計測系と; 前記位置計測系の計測情報に基づいて前記移動体を駆動する駆動系と;を備え、 前記光源及び前記検出器の少なくとも一方と前記ヘッドとは、互いに対向する端面同士が当接した状態で接続された複数本の光ファイバから成る光ファイバケーブルを介して接続され、前記光ファイバケーブルを構成する互いに接続された光ファイバ同士の接続面では、光の進行方向に関して上流側に位置する光ファイバのコアの射出端面の全面は、下流側に位置する光ファイバのコアの入射端面の一部と当接している移動体装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G01D 5/36 ,  G01D 5/38 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

H01L21/30 515G ,  H01L21/30 503A ,  G03F7/20 521 ,  G01D5/36 D ,  G01D5/38 A ,  H01L21/68 F

Fターム (39件)：

2F103BA01 ,  2F103BA03 ,  2F103BA04 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103DA01 ,  2F103EB02 ,  2F103EB15 ,  2F103EB16 ,  2F103EC08 ,  2F103EC10 ,  2F103EC11 ,  2F103EC12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031CA11 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA07 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC04 ,  5F046CC16 ,  5F146CC01 ,  5F146CC02 ,  5F146CC03 ,  5F146CC04 ,  5F146CC16