プラスティック支持体の表面処理装置及びプラスティック支持体の表面処理方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130092
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319427
特許番号：特許第4096454号
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】大気圧もしくはその近傍の圧力下、導入する不活性ガスの50圧力%以上をアルゴンガスとする組成の混合ガス雰囲気下で、一対の電極間で連続的に移送しているプラスティック支持体をガス中放電プラズマにより処理するプラスティック支持体の表面処理装置において、該一対の電極の少なくとも一方の電極が該連続的に移送されるプラスチック支持体の幅手方向においてインピーダンスを異にしていることを特徴とするプラスティック支持体の表面処理装置。

IPC (1件)：