特許

J-GLOBAL ID：201103029934429054

イオン注入装置のための補整されたスキャン波形発生器

発明者： ピーター・アレン・フィッシャー
出願人/特許権者： バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-139404
公開番号（公開出願番号）：特開平2-103851
特許番号：特許第2875282号
出願日： 1989年06月02日
公開日（公表日）： 1990年04月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】イオンビームをスキャニングするための装置であって:三角波形を有する電圧信号を発生させるための手段;前記電圧信号からv(t)=-d-e/(t+c)(d及びcは定数、eはゼロでない定数)の形を有する第1スキャン電圧信号v(t)を引き出すための手段;及び、前記スキャン電圧を前記イオンビームを屈折させるための第1の対になった電極に供給するための手段、とからなる装置。

IPC (2件)：

H01J 37/317 ,  H01J 37/147

FI (2件)：

H01J 37/317 A ,  H01J 37/147 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-259338
  
• 特表昭61-501353