特許
J-GLOBAL ID：201103030022207881
透過電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
菅井 英雄
, 阿部 龍吉
, 蛭川 昌信
, 内田 亘彦
, 青木 健二
, 韮澤 弘
, 米澤 明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-169791
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006593
特許番号：特許第3734380号
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】試料上の電流密度によらず、電子回折のクロスオーバーが対物レンズの後焦点面に常に固定されて形成されるように連動して制御される照射レンズ及び補助照射レンズと、
対物レンズと、
対物レンズによって形成される6極子場であって、その磁場の中心が後焦点面に一致するように形成される6極子場と、
その磁場の中心が、前記6極子場の磁場の中心である後焦点面と共役な位置に配置された3回対称の磁場を生じる多極子コイルと、
前記6極子場と、前記多極子コイルとの間に配置され、前記6極子場の磁場の中心である後焦点面に形成された電子回折を、前記多極子コイルの磁場の中心の位置に移すダブレットレンズと
を備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/141 ( 200 6.01)
, H01J 37/153 ( 200 6.01)
H01J 37/141 Z
, H01J 37/153 A
