不純物の測定方法及び不純物の回収装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-105295
公開番号（公開出願番号）：特開平2-028533
特許番号：特許第2944099号
出願日： 1989年04月25日
公開日（公表日）： 1990年01月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定物の表面に対して疎水性の関係にある液体を被測定物の表面に供給する工程と、上記液体を被測定物の表面に接触させるように保持しながら被測定物に対して相対的に移動させて上記液体に上記表面上に存在する不純物を取り込む工程と、上記液体に取り込まれた不純物を測定する工程とを具備したことを特徴とする不純物の測定方法。

IPC (1件)：