特許
J-GLOBAL ID：201103030195301913

基板処理装置および基板処理方法

発明者：
上田 一成

上田 一成 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-195646
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077176
特許番号：特許第3957445号
出願日： 2000年06月29日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数枚の基板を収納したカセットが載置可能であり、基板を搬入出する基板搬入出部と、 基板に各種処理を施す複数の処理ユニットが上下方向に積層して配置された処理部と、 前記処理部内に上下方向移動自在に配置され、前記基板搬入出部から前記処理部に受け渡された基板を一つの処理ユニットに搬送し、または一つの処理ユニットから他の処理ユニットに搬送するための主搬送装置と、 前記基板搬入出部内に設けられ、前記カセットと前記処理部との間で基板の受け渡しを行うための従搬送装置と、 前記主搬送装置および前記従搬送装置を制御する制御手段と を具備する基板処理装置において、 前記従搬送装置は、上下方向移動自在に設けられ、前記カセットと前記処理部との間で基板の受け渡しを行っていないタイミングで、前記処理部内の一つの処理ユニットから他の処理ユニットに基板を搬送して、前記主搬送装置を補助し、 前記制御手段は、前記従搬送装置を用いて基板を処理ユニットに搬入する第1の搬送経路および少なくとも一部で前記主搬送装置を用いて基板を処理ユニットに搬入する第2の搬送経路のいずれかを選択することが可能に構成され、前記従搬送装置が前記第1の搬送経路で基板の搬送を行うことが可能か否かを優先的に判断し、前記第1の搬送経路で搬送可能と判断した場合には前記主搬送装置の基板搬送の可否に関わらず前記第1の搬送経路を選択して基板の搬送を行うように制御することを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/30 569 D
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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